载物台(常规晶圆载物台）

尺寸

6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"

材质

不锈钢

平整度

≤±2.5μm

真空区域*

0，2"，4"，6"环形吸附**

真空控制

手动控制，独立真空区域

  真空驱动方式

真空泵

载物台电性能

载物台信号导通，可选择接地或接信号

*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。

载物台移动基座

X-Y轴行程范围*

6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程

精度

1μm

R轴粗调角度范围

360°

R轴细调角度范围

±9°

微调精度

0.0001°/deg

  Z轴细调行程范围

13mm

  细调精度

1μm

  Z轴快升行程

0~6mm, 可调

  Z轴往复精度

<1μm

  载物台快速拖出行程

100mm

*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。

探针座放置平台

材质

钢，表面沉镍处理

平台板尺寸*

可放置8个CM50或4个RF50探针座

平台板至载物台高度

1.496”(38mm)

探针座兼容性

可兼容磁力或真空吸附底座的探针座

  Z轴细调行程范围

45mm

  Z轴快升行程

350μm

  Z轴往复精度

<1μm

*此处为6"探针台可放置的探针座数量，更大尺寸探针台详询客服人员。

显微镜移动基座

  X-Y轴行程范围

2"*2"(50mm* 50mm)

  X-Y轴精度

1μm

调焦行程

2"(50mm)

精度

1μm

  Z轴粗调行程

100mm

  气动升降行程

40mm

光学系统

类型

金相显微镜，可选体视或单筒显微镜

光学放大倍数*

20X-2000X

其它信息

台体尺寸

724mm*606mm*610mm（W*D*H）

重量

120kg

加热载物台(可选项）

尺寸

6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"

  温度范围

室温~300℃

  温控精度*

0.5℃（典型值）

温度均匀性

0.5℃@6"载物台

  加热时间

<6min（室温~300℃）

RF载物台(可选项）

尺寸

6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"

  校准片载物台

2个（独立真空控制）

  尺寸

配套CS-5等尺寸的校准片

  校准片载物台角度调节范围

7°

材质

不锈钢

平整度

≤±2.5μm

  真空驱动方式

真空泵

其它扩展配件(可选项）

  探针卡夹具

可根据探针卡尺寸定制，应用于多点或自动测试

  激光器

1064nm，532nm，355nm，三个波段自由配置，对芯片线路进行切割修改。

  半自动控制系统

实现晶圆小批量半自动测试需求

设备环境要求

  电源

220V±10%

  真空

-8bar

  压缩空气

0.6MPa