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X向量程：100mm
Z向量程：320mm
传感器范围：800μm
测量重复性：±1.5%
线性精度： ±3%
评定长度：λc X 3,4,5,6,7
截止波长：0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
传感器量程范围：800μm/80μm
分辨率：12nm（800μm量程时）/ 1.2nm（80μm量程时）
X轴及Z轴运动：电动
X轴及Z轴运动速度：4档，可选
返回速度：可自定义
测量方式：传感器移动式
联系人：黄先生(销售经理)
手机：13102055065
邮箱：blt@bailit.com
地址：天津天津市天津市河西区解放南路富裕广场14号2508室
电话： 传真：
旺铺
898995850
