电子级反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE）
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名称 |
反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC |
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化学式 |
C2H2Cl2 |
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相对分子量 |
96.94 |
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CAS号 |
156-60-5 |
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理化性质 |
无色略带刺激气味液体，熔点－57℃，沸点48℃，密度1.265g/ml。易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。 |
主要用途:
高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）、光伏制造业所需的电子化学品。
供应半导体化学气相沉积材料，专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr DePOSTTTION /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。
898995850
