电子级正硅酸四乙酯/ TEOS
|
名称 |
正硅酸四乙酯(TEOS) |
|
化学式 |
C8H20O4Si |
|
相对分子量 |
208.33 |
|
CAS号 |
78-10-4 |
|
理化性质 |
无色透明液体，熔点－77℃，沸点168.5℃，密度0.9346g/ml。在空气中较稳定；微溶于水，在纯水中水解缓慢；在酸或碱的存在下能加速水解作用。 |
主要用途
主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的电子化学品。
典型应用
|
CVD类型 |
材料 |
|
APCVD |
TEOS,O3 |
|
LPCVD |
TEOS |
|
PECVD |
TEOS,O2 |
产品标准
|
项目Item |
标准值Standard Value |
项目Item |
标准值Standard Value |
|
纯 度 |
99.999999% (8N) |
铌（Nb）max |
0.1ppb |
|
铝（Al）max |
0.2ppb |
镍（Ni）max |
0.2ppb |
|
银（Ag）max |
0.1ppb |
铅（Pb）max |
0.1ppb |
|
砷（As）max |
0.4ppb |
锑（Sb）max |
0.1ppb |
|
金（Au）max |
0.1ppb |
锡（Sn）max |
0.2ppb |
|
硼 （B）max |
0.5ppb |
锶（Sr）max |
0.1ppb |
|
钡（Ba）max |
0.1ppb |
钍（Th）max |
0.1ppb |
|
铍（Be）max |
0.1ppb |
钛（Ti）max |
0.1ppb |
|
铋（Bi）max |
0.1ppb |
铀（U ）max |
0.1ppb |
|
钙（Ca）max |
0.5ppb |
钒（V ）max |
0.1ppb |
|
镉（Cd）max |
0.1ppb |
钨（W ）max |
0.1ppb |
|
钴（Co）max |
0.4ppb |
锌（Zn）max |
0.2ppb |
|
铜（Cu）max |
0.2ppb |
锆（Zr）max |
0.1ppb |
|
铬（Cr）max |
0.2ppb |
Cl- max |
0.5 ppm |
|
铁（Fe）max |
0.2ppb |
水份 max |
5 ppm |
|
镓（Ga）max |
0.4ppb |
乙醇含量 max |
3 ppm |
|
汞（Hg）max |
0.3ppb |
颗粒数≥0.2μm max |
30 p/ml |
|
钾（ K）max |
0.2ppb |
颗粒数≥0.3μm max |
20 p/ml |
|
锂（Li）max |
0.1ppb |
颗粒数≥0.5μm max |
10 p/ml |
|
镁（Mg）max |
0.5ppb |
颗粒数≥1.0μm max |
3 p/ml |
|
锰（Mn）max |
0.1ppb |
色度 |
＜10APHA |
|
钼（Mo）max |
0.1ppb |
外观 |
无色透明液体 |
|
钠（Na）max |
0.5ppb |
保质期 |
24个月 |
包装方法：316L不锈钢瓶，外装不锈钢柜。
898995850
