臭氧脱硝废气处理方案技术原理，臭氧对NO的氧化效率可达84%以上，结合碱吸收法，脱硫率近100%，脱硝效率也在O3/NO摩尔比为0.9时达到86.27%。将臭氧通入烟气中对NO进行氧化，然后采用碱液进行吸收，终将NOx转化为N2，NOx的去除率高达95%，SO2去除率约为100%。
通过实验将O3注入烟气进行脱除SO2、NOx的研究，然后采用碱吸收塔对烟气进行洗涤，结果表明NOX的脱除率与O3的注入量有关，当O3加入量为200ppm时，NOX的脱除效率可达到85%，此工艺对NOX和SO2的脱除率高可分别达到97%和100%。
采用此技术可得到较高的NOX脱除率，典型的脱除范围为70%～90%，甚至可达到95%，并且可在不同的NOX浓度和NO/NO2的比例下保持高效率。也不存在类似SCR中NH3的泄漏问题。该技术应用中SO2和CO的存在不影响NOX的去除，也不影响其他污染物控制技术。
臭氧脱硝主要是利用臭氧的强氧化性，将不可溶的低价态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内将氮氧化物吸收，达到脱除的目的。
低温条件下，O3与 NO间的关键反应如下：
NO+O3→NO2+O2 （1）
NO2+O3→NO3+O2 （2）
NO3+NO2→N2O5 （3）
NO+O+M→NO2+M （4）
NO2+O→NO3 （5）
臭氧脱硝过程是利用氧化性极强的臭氧气体将烟气中的 NO 转换为易溶于水的 NOx，产物在后级脱硫塔中被吸收。因此脱硝过程不产生直接的副产物。也不需要新建洗涤吸收塔，只需要新建臭氧发生装置。臭氧脱硝可以达到90%以上的脱硝效率。
臭氧脱硝经过氧化反应，加入的臭氧被反应所消耗，过量的臭氧可以在喷淋塔中分解。除了 NOx之外，一些重金属，如gong及其他重金属污染物也同时被臭氧所氧化。烟气中高浓度的粉尘或固体颗粒物不会影响到 NOx 的脱除效率。
臭氧脱硝可应用于：以煤、焦炭、褐煤为燃料的公用工程锅炉；以燃气、煤、重油为燃料的工业锅炉；铅、铁矿、锌/铜，玻璃、水泥加工、生产的各种炉窑；用于处理生物废料，轮胎及其他工业废料的燃烧炉；来自于酸洗和化工过程的酸性气流；催化裂化尾气；各种市政及工业垃圾焚化炉等。
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