应用超纯水工程制备出的超纯水能够满足很多行业的用水标准，例如电子行业中一些芯片的制作和清洗过程中就需要应用超纯水。
目前已经投入使用中的电子行业超纯水设备，大体可以分为以下三种不同的工艺流程：
一、 最传统的电子行业超纯水设备工艺流程，是从原水首先进入多介质过滤器开始的，然后经过活性炭过滤器和精密过滤器后到达中间水箱，接着依次通过阳床、阴床和混床后达到超纯水箱，在超纯水泵的作用下进入后置保安过滤器抵达用水点。这个工艺的核心处理技术采用的是离子交换树脂。
二、 第二种工艺流程是在传统工艺流程的基础上，用反渗透设备取代了树脂的阴床、阳床两个处理过程，其它过程均保留原有设备。这种工艺是离子交换设备和反渗透水处理设备的结合纯水制备工艺，出水水质较传统的工艺有很大的提高。
三、 第三种工艺流程是在第二种工艺流程的基础上进行发展和创新的，采用了最新的电去离子技术替代了混床设备，完美实现了电去离子设备与反渗透设备的结合，这种新型工艺的最大优势在于，它不再需要酸碱再生，不会对环境造成二次污染，是一种高效、环保的朝阳技术。同时这种工艺的出水水质极好，系统运行非常稳定，具有很好的发展潜力。
目前，超纯水设备在医药行业、电子行业和化工行业都已经得到了很好的应用，具有很好的发展前景。
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