光学元件原子级抛光镀膜设备
光学元件原子级抛光镀膜设备概述：NANO-MASTER 离子束清洗抛光-磁控溅射镀膜系统提供最先进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。
光学元件原子级抛光镀膜设备应用
Optical Coatings 光学涂层
Sputtering 溅射
IBAD IBAD离子束辅助沉积
Ion Beam Etching Cleaning 离子束刻蚀清洗
Ion Beam Assisted Reactive Etching 离子束辅助反应刻蚀
Infrared Coatings 红外涂层
Surface Treatment 表面处理
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