离子束刻蚀溅射镀膜一体机
NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机：NANO-MASTER 离子束清洗抛光-磁控溅射镀膜系统提供最先进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。
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