TSM1310伺服气动马达-氦质谱细检漏的基本判据
TSM1310伺服气动马达-氦质谱细检漏的基本判据，气动马达首选世安！
作者以τHe(含τHe, min 及对应粗检漏可检等效标准漏率L0 的τHe, 0)为主要变量，进一步推演提出了准确的压氦法和预充氦法的最长候检时间公式。作者主张以氦气交换时间常数τHe 为主要变量，以严密等级τHe, min 为基本判据，从而简化了压氦法和预充氦法测量漏率公式，便于均衡不同内腔体积时的可靠贮存时间。
TSM1310伺服电机的详细参数表：
尺寸
130
180
130
180
100
额定转速
1500rpm
2000rmp
3000rmp
型号
TSM1306
TSM1308
TSM1310
TSM1808
TSM1304
TSM1308
TSM1806
TSM1004
TSM1008
搭配编码器
2500C/T，17bitABS两者皆可
搭配驱动器
TA8480系列
TSM1310伺服气动马达-氦质谱细检漏的基本判据，气动马达首选世安！
对大部分内腔体积范围，在规定的候检时间内，难以有效控制检漏仪的本底和被检件的表面吸附漏率。候检时间成为降低测量漏率判据、提高严密等级的最关键的制约因素，而且不适应大中批量被检件的检测。
TSM1310伺服马达特点：
1.标配编码器，提高定位精度，低速轨迹应用。
2.中惯量伺服马达，整定时间段，高响应性能表现。3.高速正反转加速时间短，满足产业设备需求。4.1500rpm—3000rpm3大系列规格，机种全。5.日本原装稀土永磁材料，电机扭矩大，过载能力高。
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使用新的时间公式，不仅可避免小内腔体积时的漏检，而且对多数内腔体积范围，成一到几个数量级地扩展了最长候检时间，对小内腔体积再辅以二步法和贮存法，从而破解了候检时间这一技术瓶颈。
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