ENT-3100超微小押し込み硬さ試験機（超極軽荷重型)
ENT-3100超微小押し込み硬さ試験機（超極軽荷重型)
軟質材料（弾性係数：数GPa以下）や押込み深さ１０ｎｍ以下
の測定に対して、優れた再現性と安定性が得られます。
独自開発の荷重伝達機構
試料に圧子を垂直に押込み、正確な荷重負荷と表面検出精度を 飛躍的に向上させ、最小０.１μＮという極軽荷重での測定が可能 です。
測定環境管理機構
防音断熱ボックスで装置本体と防振台を覆い、騒音による外乱ノイズを徹底的に排除いたしました。
主要構成部に低熱膨張材料を使用し、また、装置本体?防振台を覆う防音断熱ボックス内を０.１℃単位で温度を管理することにより、温度ドリフトを最小限に抑止します。
アクティブ防振台により、装置への床振動の伝達を遮断します。
優れたユーザビリティーを実現
測定条件を入力後フルオート測定し、全てのユーザーに再現性の高い測定結果を提供します。
従来まで困難であった表面検出の成否をソフトウェアで判断します。これは、多点測定時にも有効で簡単に有用なデータを比較、解析することを容易にしました。
良く使う測定条件はデータファイルを作成し、直ぐに実行することができます。
仕様
荷重範囲 0.0005(0.5μN)～10mN(0.1μN可能)
荷重制御 電磁力式制御
測定範囲 0～50μm
測定分解能 0.3pm
測定方式 光変位計
最大試料サイズ Φ50ｘｔ3.5㎜
測定位置決め精度 ±0.3μm（Ｘ，Ｙ）
除振方式 アクテイブ（0.6Hz～)
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