ENT-2100超微小押し込み硬さ試験機（超軽荷重型）
ENT-2100超微小押し込み硬さ試験機（超軽荷重型）
数ナノの押し込み深さで、優れた再現性と安定性。ENT-2100が硬さ評価の常識を打ち破ります！
製品特徴：
新開発の機構による、超軽荷重領域での試験を実現
当社が独自に開発した定点荷重方式の採用により、サンプルの圧子を垂直に押し込むことができます。
さらに正確な荷重負荷と表面検出精度を飛躍的に向上させ、最小1μNという超軽荷重領域での試験を可能にしました。
HD表面膜、半導体基盤、レジストなどの高分子材料の評価が可能です。
高精度位置決めステージ搭載
電子描画装置で培った技術により、最小0.1μmステップで駆動する高精度位置決めステージを搭載。狙いたいところの硬さ、分布をより正確に測定できます。
光学変位計を採用、0.06nmの分解能を保証します。最大50μｍまでの測定が可能です。
CCDによるすばやく簡単な位置確認
試料観察にはCCDカメラを採用し、パソコンモニター上で測定ポイントを観察しながら位置決めが出来ます。又、測定データー、観察画面をハードディスクに記録できます。
高い操作性
ステージ系はステッピングモーター駆動の超高精度ステージを標準装備で、複数の測定ポイントをフルオートで測定できます。
※オプションとして各種防振台を選択し、組み合わせる事が出来ます。
仕様
荷重範囲 5μN～100mN（1μN可能)
荷重制御 電磁力式制御
測定範囲 0～50μm
測定分解能 0.06nm
測定方式 光変位計
最大試料サイズ Φ50ｘｔ3.5㎜
測定位置決め精度 ±0.3μm
除振方式 アクテイブ（0.6Hz～)
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