ENT-1100a 超微小押し込み硬さ試験機
ENT-1100a 超微小押し込み硬さ試験機
従来の硬さ計測器では不可能だった、薄膜や極表面層をはじめ、あらゆる素材の硬度測定ができます！
製品特徴：
極低荷重での試験を実現
19μNという極低荷重の測定が可能。98μN～980mNまでの広い範囲を、電磁力駆動方式により高精度に測定します。
高精度位置決めステージ?高分解能
電子描画装置で培った技術により、最小0.1μmステップで駆動する高精度位置決めステージを搭載。狙いたいところの硬さ、分布をより正確に測定できます。
静電容量非接触変位計を採用、0.3nmの分解能を保証します。最大20μｍまでの測定が可能です。
CCDによるすばやく簡単な位置確認
試料観察にはCCDカメラを採用し、パソコンモニター上で測定ポイントを観察しながら位置決めが出来ます。又、測定データー、観察画面をハードディスクに記録できます。
高い操作性
ステージ系はステッピングモーター駆動の超高精度ステージを標準装備で、複数の測定ポイントをフルオートで測定できます。
※オプションとして各種防振台を選択し、組み合わせる事が出来ます。
仕様
荷重範囲 98μN～980mN (19μN可能)
荷重制御 電磁力式制御
測定範囲 0～20μm
測定分解能 0.3nm
測定方式 静電容量変位計
最大試料サイズ Φ50ｘｔ3.5㎜
測定位置決め精度 ±2μm
除振方式 高精度ばね防振台（0.5Hz～)
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