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传感器30包括具有柔性传感器元件40的压力传感器。在一个实施方式中，柔性传感器元件40包括如本领域已知的电容式压力传感器。例如，在授权给Frick等人的、转让给明尼苏达州( MN )Eden Prairie的Rosemount 公司的美国专利No .6 ,295 ,875中描述了基于电容的压力传感器单元。在另一个实施方式中，柔性传感器元件40包括本领域已知的应变仪传感器。例如，在授权给Moser等人的、转让给明尼苏达州( MN )Eden Prairie的Rosemount公司的美国专利No .5 ,709 ,337中描述了应变仪压力传感器单元。柔性传感器元件40响应于通过参考通路32提供至传感器30的大气压力PA而移动。柔性传感器元件40还响应于通过隔离通路34和连接件22提供至传感器40的过程压力P1而移动。本发明的有益之处在于制造更容易且更便宜。可以使用常规机械加工操作代替更昂贵的EDM方法。常规加工的孔提供较干净的通道，这减少了被捕获在该通道中的灰尘和松散材料的量，从而减少了潜在的传感器性能问题，如变化的填充流体容量。EDM方法还提供了会捕获湿气并进一步降低填充流体性能的多孔状孔。而且，除了增加灭火流路的横截面面积和周长，与之前的设计相比，还可以减小由本发明提供的流路的长度。
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