涡轮分子泵： 是以高速旋动的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵的极限压力可以达到10-9帕以下，对油蒸汽等高分子量气体的压缩比很高，几乎能达到测不出的程度。因而残余气体中油蒸汽的分压力很低。由于轴承用的润滑油仅在泵的出口侧存在，故泵在运转过程中入口处检查不出油的痕迹。因此，涡轮分子泵可以获得清洁无油的超高真空。这种泵如果长期不用，轴承处的油蒸汽会扩散到泵的入口侧，降低泵所能达到的清洁程度。为了消除油蒸汽的污染，在工作时，须对泵的入口进行烘烤除气，烘烤温度要严格控制，过高会使叶片变形。有的在停泵时，用压力为13hPa的干燥气体充入泵内，以消除油蒸汽返流造成的污染。
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等，主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。
科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的 真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
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