探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面**可升温到*高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测
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电子显微镜 |
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显微镜类别 |
物镜 |
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物镜倍数 |
0.7-4.5倍 |
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工作间距 |
90mm |
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相机 |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
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图像接口 |
VGA |
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LED可调光源 |
有 |
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显示屏 |
8寸 |
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放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
898995850
