影响三坐标测量机正常工作的主要原因及解决办法——设备精度补偿文件
设备精度补偿文件记录用来记录设备精度误差数据，测量软件是根据它来进行误差补偿的。在安装测量机软件时如果忘记安装补偿文件或将备份的补偿文件丢失，会造成测量机测量精度差，需要重新校验机器精度。
解决办法及要求：保管好备份补偿文件并安装好补偿文件。
三坐标测量机对材料的要求
导热性要好，以免外界有温度变化（随时间及空间变化）时形成构件内部的温度梯度，引起机器结构的变形（主要是扭转和弯曲）；
热膨胀系数要小，以免温度变化引起过大的伸长缩短；要具有比较大的弹性模量（刚性），以免受力后有较大的变形；
高的硬度及耐磨性，保证不易划伤、磨损；较高的强度不易断裂；
运动部分的材料要求密度小，以减小由于测量机的高速、高加速运动而产生的测量机惯性力；
考虑材料吸水率小，以免受潮变形（质量差的花岗石，由于吸水，足以引起微米级的变形）；
工艺性好，易于加工；成本要低。
三坐标测量机的日常维护及保养注意事项
１． 被测零件在放到工作台上检测之前，应先清洗去毛刺，防止在加工完成后零件表面残留的冷却液及加工残留物影响测量机的测量精度及测尖使用命；
２． 被测零件在测量之前应在室内恒温，如果温度相差过大就会影响测量精度；
３． 大型及重型零件在放置到工作台上的过程中应轻放，以避免造成剧烈碰撞，致使工作台或零件损伤。必要时可以在工作台上放置一块厚橡胶以防止碰撞；
４． 小型及轻型零件放到工作台后，应紧固后再进行测量，否则会影响测量精度；
５． 在工作过程中，测座在转动时(特别是带有加长杆的情况下)一定要远离零件，以避免碰撞；
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