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仪器型号 |
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工作台 |
金属台面尺寸(mm) |
354*228 |
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玻璃台尺寸(mm) |
210*160 |
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X、Y运动行程(mm) |
150*100 |
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Z坐标行程 |
150 |
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X、Y、Z向分辨率(μm) |
0.5 |
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X、Y、Z坐标示值误差(μm) |
3+L/75(L为被测长度,单位:mm) |
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外形尺寸 |
长*宽*高(mm) 540*667*850 |
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仪器重量 |
单位(kg) 100 |
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目视系统 |
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物镜放大倍数 |
1X、3X(标配)、5X |
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透射照明光源 |
24V/20W卤素钨灯 |
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反射照明光源 |
12V LED环形灯及带激光指示器反射照明 |
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