供应工字轮电镀金刚线丨瑞德琴钢线切割丝_切割线

分析认为：镀层有磨损但属于切削正常情况,整体没开裂、剥落现象,在目前情况下,证明电镀参数合理。锯切试验中使用合成液做切削液改善晶片表面形貌,降低硅片的表面粗糙度、翘曲度和TTV的综合效果。研究发现电镀金刚石锯丝的磨损形式分为镀层磨损与磨粒磨损,主要磨损形式为磨粒的脱落,因此锯丝制造过程中应研究新措施来提高磨粒的把持力,从而提高锯丝的寿命。建立了锯丝表面周向分布的磨粒在锯切过程中的平均切削厚度理论模型,并结合观察加工表面形貌和切屑形态,研究了电镀金刚石线锯加工单晶硅的材料去除和加工表面形成机理,分析了加工表面材料去除方式与工艺参数的关系。锯丝表面周向分布的磨粒切深与磨粒所在的位置有关,位于锯丝底部的磨粒切深大,主要贡献于材料的去除,形成锯口,实现切片;而分布于靠近加工表面的磨粒切深小,主要贡献于晶片表面的形成。当使用同一种锯丝进行单晶硅的加工时,锯丝表面某一位置处的磨粒平均切削深度g和工件进给速度VW与锯丝速度VS的比值q之间存在着近似的非线性的单调递增关系,为g∝D·（VW/VS）4/9,其中D为常数。硅片表面的材料去除方式与q值相关,在本文的试验条件下,当q≤1.0μm/mm时,硅片表面的材料去除可实现准塑性域去除方式。建立了锯切硅片亚表面损伤层厚度预测的理论模型。该模型把线锯加工中磨粒的切削过程近似为受法向力与切向力共同作用的压头移动过程,综合考虑磨粒下方弹性应力场与残余应力场对中位裂纹扩展长度的影响。把中位裂纹扩展层深度看成是亚表层损伤层厚度,把磨粒下方横向裂纹产生深度看成是锯切后表面p-v粗糙度值,从而建立了亚表层损伤层厚度与表面粗糙度值之间的理论模型,用于预测损伤层厚度。电镀参数下,可获得在保证柔韧性和结合力好、硬度尽可能高内应力小的很佳镀层性能。在电镀设备上,按照试验获得的很佳电镀参数制造金刚石切割线。实验中锯丝基体采用Φ0.25mm的镀铜钢线,磨料金刚石采用超硬磨料有限公司生产的粒径为W30-W40的金刚石微粉。实验后检查自制电镀金刚石切割线的复合镀层外观,外观质量良好；检测了自制线锯的几何尺寸及金刚石颗粒密度,线锯具有很好的线径一致性；测试了自制线锯镀层的弯曲疲劳性能,镀层的柔韧性及对基体的结合力俱佳。结果表明：自制电镀金刚石切割线各项性能均满足使用要求。同时在现有设备上进行切割实验,研究在很佳工艺参数下制备的金刚石切割线的切割能力。结果表明该金刚石切割线在切割效率和加工精度方面均满足使用要求,线锯损坏小。在此情况下,同时对锯切后的金刚石线锯表面磨损形貌分析。供应工字轮电镀金刚线丨瑞德琴钢线切割丝。

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