■ 抗热冲击性能好、膨胀率适应性好：
示例：不同热膨胀将铝密封件与不锈钢法兰组合的最l高允许温度限制在 150°C 左右。经常在过高温度之后，在冷却过程中发生密封效果恶化的情况。
■ 耐腐蚀性、耐化学性：
示例：很多真空镀膜过程需要化学性质活泼的过程气体。因此，有必要考虑所使用的液体是否会影响到部件或密封件。尤其是薄壁部件，如金属波纹管，容易受到腐蚀。如有必要，应该在测试中确定其使用寿命。对于特殊的应用，可能可能还会对材料有更多要求。
一般的规则是：所需工作压力越低，对材料的要求越高，可使用的材料选择性越小。因此，特别在HV（超高真空）技术中，材料的选择非常重要。
分子泵。适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应和宇航技术工作中使用。
水喷射泵。适合于真空导料、真空输送、轻工、化工、化纤、制药、涂料、油脂、造纸、制糖、食品、制砖和真空除氧等工艺领域中使用。
水蒸气喷射泵。适合于真空冶烧、真空脱气、真空蒸发、真空干燥和真空回潮等工艺中使用。
低温泵。适合于真空镀膜、表面物理、超导技术和宇航技术等工作中使用。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
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