分子泵。适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应和宇航技术工作中使用。
水喷射泵。适合于真空导料、真空输送、轻工、化工、化纤、制药、涂料、油脂、造纸、制糖、食品、制砖和真空除氧等工艺领域中使用。
水蒸气喷射泵。适合于真空冶烧、真空脱气、真空蒸发、真空干燥和真空回潮等工艺中使用。
低温泵。适合于真空镀膜、表面物理、超导技术和宇航技术等工作中使用。
在整个操作温度范围内要保证足够的机械强度：
除了要保证其结构的完整性，还必须确保功能表面的变形不会对其功能特性造成影响。示例：真空室部件上的大气压力大约为 10 N/cm 2 。在面积为 1 m 2 的表面上，将产生100,000 N 的压力。
低固有蒸气压、高熔沸点：
固有蒸气压太高会限制最终的真空压力。除了油和润滑脂的真空兼容性，在合金中，必须考虑金属固有的蒸气压或其在合金中的分压。示例：对于黄铜制品，锌在高真空中的分压被限制在最l高允许温度大约为 100°C。
抽气速率。在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体的体积称为泵的抽气速率。即气体A的抽气速率sA(m3/s)为流量QA(Pa.m3/s)除以测试罩内这种气体A的分压力pA而得。一般真空泵的抽气速率与气体种类有关。给定的抽气速率，表示对某种气体的抽气速率。如无特殊表明，多指抽空气而言。
极限压力。将真空泵与检测容器相连，放入待测气体后，进行长时间连续抽气，当容器能的气体压力不再下降，而维持在某一定值时，次压力即为泵的极限压力。
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