正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
■ 高气密性：
每种材料基本上都是气体可渗透的。气体渗透的整个过程被称为渗透。渗透的快慢取决于材料、气体类型以及环境条件—特别是温度。使用弹性体密封件的情况下，其渗透性必须予以考虑。示例：对于 DN 500 ISO-K 的 FKM（氟橡胶）密封件，在湿度为 60% 的空气中，渗透率大约为 4· 10 -7 Pa · m 3 /s。因此，带有 FKM 密封件的真空系统工作压力很少会超过 1 · 10 -8 hPa。
在整个操作温度范围内要保证足够的机械强度：
除了要保证其结构的完整性，还必须确保功能表面的变形不会对其功能特性造成影响。示例：真空室部件上的大气压力大约为 10 N/cm 2 。在面积为 1 m 2 的表面上，将产生100,000 N 的压力。
低固有蒸气压、高熔沸点：
固有蒸气压太高会限制最终的真空压力。除了油和润滑脂的真空兼容性，在合金中，必须考虑金属固有的蒸气压或其在合金中的分压。示例：对于黄铜制品，锌在高真空中的分压被限制在最l高允许温度大约为 100°C。
898995850
