CVD气相沉积炉
- 价 格：
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- 供 应 地：湖南省株洲市
- 发布公司：株洲鑫韵科技发展有限公司
- 产品型号：CVD气相沉积炉
- 品 牌：鑫韵
- 发布日期：2017/1/6 14:44:59
- 联系人QQ：1979003224
详细说明
CVD气相沉积炉
化学气相沉积炉应用领域
化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
化学气相沉积炉产品规格
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产品型号/规格W×H×L(mm)
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600*600*1000
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800*800*1200
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1000*1000*1500
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1200*1200*2500
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1500*1500*3000
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2500*2000*3600
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装载重量(KG)
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350
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800
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1500
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2500
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5000
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10000
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最高温度(℃)
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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温度均匀性(℃)
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±7.5
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±7.5
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±7.5
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±10
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±10
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±15
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加热功率(kw)
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250
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360
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480
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600
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900
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1200
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极限真空度(Pa)
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20
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20
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20
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20
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20
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20
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压升率(Pa/h)
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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0.67
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以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。
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化学气相沉积炉主要配置
炉门：丝杠升降//液压升降/手动升降；手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产
真空泵和真空计---进口/国产
PLC：欧姆龙/西门子
控温仪表：日本岛电/英国欧陆
热电偶：C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产
人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机
电器元件：正泰/施耐德/西门子
料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车
化学气相沉积炉技术特征
本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；
本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；
本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
株洲鑫韵科技发展有限公司是一家以半导体变流技术为依托，集科研开发、生产经营为一体的科技型企业。公司坚持以人才为根本，以市场为导向，以高新技术为依托的经营理念，致力于中高频感应加热设备和工业控制设备的开发生产与推广应用，高温石墨化炉，碳化炉，熔炼炉，烧结炉等；我公司还从事非金属及其复合材料、碳/碳复合材料的研制、生产、销售和相关技术服务；各种工具、石墨、碳布、碳绳、碳毡、高导热膜销售。产品广泛应用于航天、交通、机械、冶金、军用设备、轨道交通机车车辆行业等几十种加工制造行业中，并以优质的产品、完善的服务赢得广大用户企业的信赖与赞誉。
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