高效和超高效过滤器均用于洁净室末端，以其结构形式可分为有：有隔板高效过滤器、无隔板高效过滤器、大风量高效过滤器,超高效过滤器等。另外还有三种高效过滤器，一种是超高效过滤器，能做得到净化99.9995%。一种是抗菌型无隔板高效空气过滤器，具有抗菌作用，阻止细菌进入洁净车间，一种是亚高效过滤器，价格便宜以前多用于要求不高的净化空间。
一、主要特点
1)反冲洗彻底、用水量少。旋翼带动纤维丝作不规则的旋转，加速了悬浮物的分离，提高了清洗的速度。
2)过滤精度高，出水水质好。水体中的杂质去除率可以达到98%，对有机物、细菌、病毒等大分子同样有去除的作用。
3)过滤速度快。运用纤维的滤料增加了滤床的空隙，提高的过滤速度。
4)滤料表面处理具有疏油性。
5)适应各种介质能力强。多种纤维滤料结合，使其适应各种介质的能力远远超出其他普通过滤器。
二、工作流程
1)需要过滤的污水从设备的进口进入细网中心。
2)通过细网从里面进入出口。
3)其中的污染物聚集在细网的内表面上，形成过滤物饼。
4)一旦设备的压差超过一定值的时候，设备就会自动打开清洗阀开始清洗。
三、注意事项
1)安装前清洁。
2)净化车间应再次多方面清扫，如用吸尘器吸尘，不得用普通吸尘器，必须用配有超净滤袋的吸尘器。
3)然后试运转系统达12h后再次清洁洁净车间，方可安装高效过滤器。
4)如在吊顶内安装，吊顶内应进行清扫。
5)系统应空吹清洁。
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