三级处理是对水的深度处理，它将经过二级处理的水进行脱氮、脱磷处理，用活性炭吸附法或反渗透法等去除水中的剩余污染物，并用臭氧或氯消毒杀灭细菌和病毒，然后将处理水送入中水道，作为冲洗厕所、喷洒街道、浇灌绿化带、工业用水、防火等水源。
采用二级反渗透预处理+EDI制作超纯水,其电导率一般可达到17MΩ.CM以上,工业上广泛应用于电厂锅炉、军工、医药、电子、机械等工业领域.文章着重对二级反渗透+EDI水处理系统的原理及其工艺流程进行了阐述.益民水处理引进加拿大坎贝尔技术生产的超纯水处理系统，采用二级反渗透+EDI技术，自动化程度高，制水量大，水质好(成品水电阻率在17MΩ.CM以上)等特点。
EDI给水过程：一般城市水源中存在钠、钙、镁、氯化物、硝酸盐、碳酸氢盐等溶解物。这些化合物由带负电荷的阴离子和带正电荷的阳离子组成。通过反渗透预处理，99%以上的离子可以被除去。另外，原水中也可能包括其他微量元素、溶解的气体（例如CO2）和一些弱电解质（例如硼，二氧化硅）这些杂质在工业除盐水中必须被除掉。但是反渗透过程对于这些杂质的清除效果较差。
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