臭氧不稳固，很容易产生简略的氧化反应失去一个氧原子，这种反应中3个氧原子都要被用到。在无机反应中，只要一个臭氧分子的原子进行氧化过程，另两个作为一个氧气释放出来。
臭氧可以当即和不饱和无机化合物反应。三个氧原子全部加成到双键或三键上。此外，臭氧可作为一种强效的杀菌剂(杀灭细菌的药剂)，损坏分子细胞壁使细菌，病毒，真菌等微生物失活。
臭氧发生器气源
臭氧发生器常用的气源大体可分为下列几种：
1）干燥空气气源--无油的压缩空气经过冷却、干燥、过滤处理后作为原料气使用；
2）富氧气源--无油压缩空气经过冷干处理送入PSA空分系统将氮气和氧气分离，并将氧气收集作为原料气（此原料气含有惰性气体和二氧化碳及少量氮气，并非纯氧气所以称为富氧源）；
3）工业氧气源--通常使用瓶装工业氧气（大多适用于小型臭氧发生器）；
4）液氧--液态氧经过汽化器汽化减压后送入臭氧发生器作为原料气（常用于大型臭氧发生器）。
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